Dispositif et procédé de fabrication de plaques autosupportées de silicium ou autres matériaux cristallins - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2008

Dispositif et procédé de fabrication de plaques autosupportées de silicium ou autres matériaux cristallins

R. Einhaus
  • Fonction : Auteur
F. Lissalde
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00369739 , version 1 (20-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00369739 , version 1

Citer

R. Einhaus, F. Lissalde, Y. Delannoy. Dispositif et procédé de fabrication de plaques autosupportées de silicium ou autres matériaux cristallins. Patent n° : FR2913434 (A1). EPM. 2008. ⟨hal-00369739⟩

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