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Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Nanoscale study of piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O3 thin films by piezoresponse microscopy

C. Legrand
  • Fonction : Auteur
A. da Costa
  • Fonction : Auteur
R. Desfeux
Caroline Soyer
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00367385 , version 1 (11-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00367385 , version 1

Citer

C. Legrand, A. da Costa, R. Desfeux, Caroline Soyer, Denis Remiens. Nanoscale study of piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O3 thin films by piezoresponse microscopy. Proceedings of the 19th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, ISIF-19, 2007, Bordeaux, France. ⟨hal-00367385⟩
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