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Communication Dans Un Congrès Année : 2008

AlN thin films deposition : a comparison between HIPIMS and conventional dcMS sputtering

A. Guillaumot
  • Fonction : Auteur
J.C. Oliveira
  • Fonction : Auteur
F. Lapostolle
  • Fonction : Auteur
A. Cavaleiro
  • Fonction : Auteur
Alain Billard
C. Langlade
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00366949 , version 1 (10-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00366949 , version 1

Citer

A. Guillaumot, Christelle Dublanche-Tixier, J.C. Oliveira, F. Lapostolle, A. Cavaleiro, et al.. AlN thin films deposition : a comparison between HIPIMS and conventional dcMS sputtering. Eleventh International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE 2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-00366949⟩
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