Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Martine Segear : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00366949
Soumis le : mardi 10 mars 2009-10:02:40
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00366949 , version 1
Citer
A. Guillaumot, Christelle Dublanche-Tixier, J.C. Oliveira, F. Lapostolle, A. Cavaleiro, et al.. AlN thin films deposition : a comparison between HIPIMS and conventional dcMS sputtering. Eleventh International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE 2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-00366949⟩
Collections
144
Consultations
0
Téléchargements