Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Martine Segear : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00366944
Soumis le : mardi 10 mars 2009-09:45:57
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00366944 , version 1
Citer
A. Guillaumot, B. Borcea, Christelle Dublanche-Tixier, J.C. Oliveira, F. Lapostolle, et al.. Influence of substrates bias on the properties of (Al, Ti)N thin films sputter-deposited using a hybrid HIPIMS/dcMS process. Eleventh International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE 2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-00366944⟩
Collections
64
Consultations
0
Téléchargements