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Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Influence of substrates bias on the properties of (Al, Ti)N thin films sputter-deposited using a hybrid HIPIMS/dcMS process

A. Guillaumot
  • Fonction : Auteur
B. Borcea
  • Fonction : Auteur
J.C. Oliveira
  • Fonction : Auteur
F. Lapostolle
  • Fonction : Auteur
A. Cavaleiro
  • Fonction : Auteur
Alain Billard
C. Langlade
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00366944 , version 1 (10-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00366944 , version 1

Citer

A. Guillaumot, B. Borcea, Christelle Dublanche-Tixier, J.C. Oliveira, F. Lapostolle, et al.. Influence of substrates bias on the properties of (Al, Ti)N thin films sputter-deposited using a hybrid HIPIMS/dcMS process. Eleventh International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE 2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-00366944⟩
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