Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Integrated Ferroelectrics Année : 2008

Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films

C. Blach-Legrand
  • Fonction : Auteur
S. Saitzek
A. da Costa
  • Fonction : Auteur
R. Desfeux
Caroline Soyer
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00360338 , version 1 (11-02-2009)

Identifiants

Citer

C. Blach-Legrand, S. Saitzek, A. da Costa, R. Desfeux, Caroline Soyer, et al.. Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films. Integrated Ferroelectrics, 2008, 98, pp.230-240. ⟨10.1080/10584580802096614⟩. ⟨hal-00360338⟩
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