Laser processing for home-made photomask: application to tunable devices - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00355182 , version 1 (22-01-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00355182 , version 1

Citer

Gérard Legeay, Xavier Castel, Ratiba Benzerga, Arnaud-Gides Moussavou, Ronan Sauleau, et al.. Laser processing for home-made photomask: application to tunable devices. EMRS 2008 Spring Meeting, Symposium B "Laser and plasma in micro- and nano-scale materials", May 2008, Strasbourg, France. ⟨hal-00355182⟩
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