Thermal stability of Ta-based diffusion barriers - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Thermal stability of Ta-based diffusion barriers

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Nicole Fréty  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00351962

Soumis le : lundi 12 janvier 2009-11:53:37

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00351962 , version 1 (12-01-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00351962 , version 1

Citer

J. Nazon, B. Fraisse, M.H. Berger, Jean-Claude Tedenac, Nicole Fréty. Thermal stability of Ta-based diffusion barriers. TMS 2009 (The Minerals, Metals & Materials Society), 138th Annual Meeting, Feb 2009, San Francisco, United States. ⟨hal-00351962⟩

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