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Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Micro and nanopatterning of Pulsed Plasma Polymer thin films by DUV photolithography

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00349080 , version 1 (23-12-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00349080 , version 1

Citer

Olivier Soppera, Ali Dirani, Vincent Roucoules, Arnaud Ponche. Micro and nanopatterning of Pulsed Plasma Polymer thin films by DUV photolithography. GFP2008, Nov 2008, Lyon, France. ⟨hal-00349080⟩
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