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Communication Dans Un Congrès Année : 2008

DUV-induced micro and nanopatterning of polymer plasma deposited films

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00324323 , version 1 (24-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00324323 , version 1

Citer

Olivier Soppera, Ali Dirani, Vincent Roucoules, Arnaud Ponche. DUV-induced micro and nanopatterning of polymer plasma deposited films. MNE 2008, Sep 2008, Athenes, Greece. ⟨hal-00324323⟩
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