Résonateurs électromécaniques MEMS fabriqués à partir d'une technologie Silicon On Nothing - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Résonateurs électromécaniques MEMS fabriqués à partir d'une technologie Silicon On Nothing

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00285262 , version 1 (05-06-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00285262 , version 1

Citer

C. Durand, F. Casset, L. Buchaillot. Résonateurs électromécaniques MEMS fabriqués à partir d'une technologie Silicon On Nothing. 10èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2007, 2007, Lille, France. ⟨hal-00285262⟩
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