Article Dans Une Revue
Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems
Année : 2006
Christophe Gorecki : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00280835
Soumis le : lundi 19 mai 2008-23:16:33
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00280835 , version 1
Citer
Lukasz Nieradko, Christophe Gorecki, Michal Józwik, Andrei Sabac, Rolf Hoffmann, et al.. Fabrication and optical packaging of an integrated Mach-Zehnder interferometer on top of a movable micromirror. Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems, 2006, 5 (2), pp.023009-1. ⟨hal-00280835⟩
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