Fabrication and optical packaging of an integrated Mach-Zehnder interferometer on top of a movable micromirror - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00280835 , version 1 (19-05-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00280835 , version 1

Citer

Lukasz Nieradko, Christophe Gorecki, Michal Józwik, Andrei Sabac, Rolf Hoffmann, et al.. Fabrication and optical packaging of an integrated Mach-Zehnder interferometer on top of a movable micromirror. Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems, 2006, 5 (2), pp.023009-1. ⟨hal-00280835⟩
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