Technology and performances of silicon oxynitride waveguides for optomechanical sensors fabricated by plasma-enhanced chemical vapour deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal European Optical Society Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00280834 , version 1 (19-05-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00280834 , version 1

Citer

A. Sabac, C. Gorecki, M. Jozwik, L. Nieradko, C. Meunier, et al.. Technology and performances of silicon oxynitride waveguides for optomechanical sensors fabricated by plasma-enhanced chemical vapour deposition. Journal European Optical Society, 2007, 2, pp.07026. ⟨hal-00280834⟩
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