Article Dans Une Revue
Journal European Optical Society
Année : 2007
Christophe Gorecki : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00280834
Soumis le : lundi 19 mai 2008-23:02:55
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00280834 , version 1
Citer
A. Sabac, C. Gorecki, M. Jozwik, L. Nieradko, C. Meunier, et al.. Technology and performances of silicon oxynitride waveguides for optomechanical sensors fabricated by plasma-enhanced chemical vapour deposition. Journal European Optical Society, 2007, 2, pp.07026. ⟨hal-00280834⟩
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