Article Dans Une Revue
Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics
Année : 2002
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https://hal.science/hal-00250395
Soumis le : mardi 12 février 2008-08:40:23
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00250395 , version 1
Citer
T. Haccart, Eric Cattan, Denis Remiens. Dielectric, ferroelectric and piezoelectric properties of sputtered PZT thin films on Si substrates : influence of film thickness and orientation. Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2002, 5, pp.78-88. ⟨hal-00250395⟩
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