Dielectric, ferroelectric and piezoelectric properties of sputtered PZT thin films on Si substrates : influence of film thickness and orientation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics Année : 2002

Dielectric, ferroelectric and piezoelectric properties of sputtered PZT thin films on Si substrates : influence of film thickness and orientation

T. Haccart
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00250395 , version 1 (12-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00250395 , version 1

Citer

T. Haccart, Eric Cattan, Denis Remiens. Dielectric, ferroelectric and piezoelectric properties of sputtered PZT thin films on Si substrates : influence of film thickness and orientation. Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2002, 5, pp.78-88. ⟨hal-00250395⟩
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