Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00244017
Soumis le : jeudi 7 février 2008-11:18:51
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00244017 , version 1
Citer
F. Casset, C. Durand, N. Abele, K. Segueni, L. Buchaillot, et al.. MEMS electromechanical resonators for RF applications. 16ème Forum de l'Interconnexion et du Packaging Microélectronique, INTERCONEX 2006, 2006, Besançon, France. ⟨hal-00244017⟩
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