MEMS electromechanical resonators for RF applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

MEMS electromechanical resonators for RF applications

F. Casset
  • Fonction : Auteur
C. Durand
  • Fonction : Auteur
N. Abele
  • Fonction : Auteur
K. Segueni
  • Fonction : Auteur
A.M. Ionescu
  • Fonction : Auteur
P. Ancey
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00244017 , version 1 (07-02-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00244017 , version 1

Citer

F. Casset, C. Durand, N. Abele, K. Segueni, L. Buchaillot, et al.. MEMS electromechanical resonators for RF applications. 16ème Forum de l'Interconnexion et du Packaging Microélectronique, INTERCONEX 2006, 2006, Besançon, France. ⟨hal-00244017⟩
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