"Nanoporous SiOCH Thin Films: from Sol Gel to PECVD" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00218140 , version 1 (25-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00218140 , version 1

Citer

V. Jousseaume, L. Favennec, A. Zenasni, O. Gourhant, P. Maury, et al.. "Nanoporous SiOCH Thin Films: from Sol Gel to PECVD". 211th Meeting of the Electrochemical Society, 2007, United States. a paraitre. ⟨hal-00218140⟩

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