Article Dans Une Revue
Journal of Physical Chemistry C
Année : 2007
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00196396
Soumis le : mercredi 12 décembre 2007-16:29:25
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00196396 , version 1
Citer
A. Lintanf, A. Mantoux, E. Blanquet, E. Djurado. Elaboration of Ta2O5 Thin Films Using Electrostatic Spray Deposition for Microelectronic Applications. Journal of Physical Chemistry C, 2007, 111 (15), pp.5708-5714. ⟨hal-00196396⟩
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