Scanning laser ultrasonics experiments for in-situ non-destructive analysis of integrated circuits - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Device and Materials Reliability Année : 2005

Scanning laser ultrasonics experiments for in-situ non-destructive analysis of integrated circuits

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00181926

Soumis le : mercredi 24 octobre 2007-16:46:41

Dernière modification le : lundi 11 septembre 2023-16:36:51

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00181926 , version 1 (24-10-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00181926 , version 1

Citer

Grégory Andriamonje, Vincent Pouget, Yves Ousten, Dean Lewis, Bernard Plano, et al.. Scanning laser ultrasonics experiments for in-situ non-destructive analysis of integrated circuits. IEEE Transactions on Device and Materials Reliability, 2005, 1, pp.1. ⟨hal-00181926⟩

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