Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Claude Pellet : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00165665
Soumis le : vendredi 27 juillet 2007-10:11:38
Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00165665 , version 1
Citer
Claude Pellet. Gas permeation inside BCB-sealed microcavities. 7th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems (MEMSWAVE'06), Jun 2006, Orvieto, Italy. ⟨hal-00165665⟩
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