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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Gas permeation inside BCB-sealed microcavities

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00165665 , version 1 (27-07-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00165665 , version 1

Citer

Claude Pellet. Gas permeation inside BCB-sealed microcavities. 7th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems (MEMSWAVE'06), Jun 2006, Orvieto, Italy. ⟨hal-00165665⟩
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