Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Isabelle Dufour : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00164609
Soumis le : samedi 21 juillet 2007-17:17:40
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00164609 , version 1
Citer
Claude Lucat, Patrick Ginet, Regnault von Der Mühll, Christophe Castille, Francis Ménil, et al.. On a new sacrificial layer process of free-standing piezoelectric thick films for MEMS applications. International Symposium on Integrated Ferroelectrics 2007, May 2007, Bordeaux, France. ⟨hal-00164609⟩
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