Lamb wave and plate mode in ZnO/silicon and AlN/silicon membrane - Application to sensors able to operate in contact with liquid - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2000

Lamb wave and plate mode in ZnO/silicon and AlN/silicon membrane - Application to sensors able to operate in contact with liquid

T. Laurent
  • Fonction : Auteur
F.O. Bastien
  • Fonction : Auteur
J.C. Pommier
  • Fonction : Auteur
A. Cachard
  • Fonction : Auteur
Eric Cattan
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00158554 , version 1 (29-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00158554 , version 1

Citer

T. Laurent, F.O. Bastien, J.C. Pommier, A. Cachard, Denis Remiens, et al.. Lamb wave and plate mode in ZnO/silicon and AlN/silicon membrane - Application to sensors able to operate in contact with liquid. Sensors and Actuators A: Physical , 2000, 87, pp.26-37. ⟨hal-00158554⟩
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