Communication Dans Un Congrès Année : 2000

Self-assembling of electrostatic micro-mirrors by means of integrated micro-actuators and mechanical latches

L. Buchaillot
P. Bigotte
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00158522 , version 1 (29-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00158522 , version 1

Citer

E. Quevy, L. Buchaillot, P. Bigotte, D. Collard. Self-assembling of electrostatic micro-mirrors by means of integrated micro-actuators and mechanical latches. Proceedings of the 2nd International Workshop on Microfactories, IWMF 2000, 2000, Quebec, Canada. ⟨hal-00158522⟩
77 Consultations
0 Téléchargements

Partager

  • More