Communication Dans Un Congrès
Année : 2001
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https://hal.science/hal-00152672
Soumis le : jeudi 7 juin 2007-11:35:28
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00152672 , version 1
Citer
Y. Guhel, B. Boudart, M.A. Poisson, Jean-Claude de Jaeger. Etude de gravure sèche en vue de réaliser un recess de grille de HEMTs sur GaN. 8èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2001, 2001, Aussois, France. ⟨hal-00152672⟩
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