Etude de gravure sèche en vue de réaliser un recess de grille de HEMTs sur GaN - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

Etude de gravure sèche en vue de réaliser un recess de grille de HEMTs sur GaN

B. Boudart
M.A. Poisson
  • Fonction : Auteur
Jean-Claude de Jaeger
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152672 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152672 , version 1

Citer

Y. Guhel, B. Boudart, M.A. Poisson, Jean-Claude de Jaeger. Etude de gravure sèche en vue de réaliser un recess de grille de HEMTs sur GaN. 8èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2001, 2001, Aussois, France. ⟨hal-00152672⟩
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