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Article Dans Une Revue Materials Science and Engineering: B Année : 2001

Optical properties of boron nitride thin films deposited by microwave PECVD

P. Thevenin
  • Fonction : Auteur
A. Bath
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152599 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152599 , version 1

Citer

A. Soltani, P. Thevenin, A. Bath. Optical properties of boron nitride thin films deposited by microwave PECVD. Materials Science and Engineering: B, 2001, B82, pp.170-172. ⟨hal-00152599⟩
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