Article Dans Une Revue
Materials Science and Engineering: B
Année : 2001
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00152599
Soumis le : jeudi 7 juin 2007-10:52:21
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00152599 , version 1
Citer
A. Soltani, P. Thevenin, A. Bath. Optical properties of boron nitride thin films deposited by microwave PECVD. Materials Science and Engineering: B, 2001, B82, pp.170-172. ⟨hal-00152599⟩
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