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Article Dans Une Revue Diamond and Related Materials Année : 2001

Formation and characterisation of c-BN thin films deposited by microwave PECVD

P. Thevenin
  • Fonction : Auteur
A. Bath
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152598 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152598 , version 1

Citer

A. Soltani, P. Thevenin, A. Bath. Formation and characterisation of c-BN thin films deposited by microwave PECVD. Diamond and Related Materials, 2001, 10, pp.1369-1374. ⟨hal-00152598⟩
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