Article Dans Une Revue
IEEE Transactions on Electron Devices
Année : 2001
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00152460
Soumis le : jeudi 7 juin 2007-08:13:19
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00152460 , version 1
Citer
E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard. 3D self-assembling and actuation of electrostatic microstructures. IEEE Transactions on Electron Devices, 2001, 48, pp.1833-1839. ⟨hal-00152460⟩
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