3D self-assembling and actuation of electrostatic microstructures - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Electron Devices Année : 2001

3D self-assembling and actuation of electrostatic microstructures

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00152460 , version 1 (07-06-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00152460 , version 1

Citer

E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard. 3D self-assembling and actuation of electrostatic microstructures. IEEE Transactions on Electron Devices, 2001, 48, pp.1833-1839. ⟨hal-00152460⟩
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