Channel cracking technique for toughness measurement of SiOCH low-k films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00149023 , version 1 (24-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00149023 , version 1

Citer

H. Brillet-Rouxel, M. Dupeux, M. Braccini, S. Orain. Channel cracking technique for toughness measurement of SiOCH low-k films. MRS Spring Meeting, 2006, 2006, San Francisco, United States. pp.F3.5. ⟨hal-00149023⟩

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