Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
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https://hal.science/hal-00148790
Soumis le : mercredi 23 mai 2007-11:20:23
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00148790 , version 1
Citer
O. Millet, L. Buchaillot, D. Collard. Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches. 2002, pp.1795-1800. ⟨hal-00148790⟩
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