Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

A. Kaiser
Bernard Legrand
L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur
C. Combi
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148748 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148748 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, et al.. Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées. Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France. ⟨hal-00148748⟩
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