Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées

D. Galayko
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
A. Kaiser
CV
Bernard Legrand
CV
L. Buchaillot
D. Collard
  • Fonction : Auteur
C. Combi
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00148748

Soumis le : mercredi 23 mai 2007-10:31:41

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00148748 , version 1 (23-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00148748 , version 1

Citer

D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, et al.. Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées. Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France. ⟨hal-00148748⟩

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