Impact of WSix Metal Gate Stoichiometry on Fully Depleted SOI MOSFETs Electrical Properties
J. Widiez
,
M. Vinet
,
B. Guillaumot
,
X. Garros
,
S. Minoret
,
T. Poiroux
,
O. Weber
,
L. Thévenod
,
P. Holliger
,
B. Previtali
,
Vincent Barral
,
K. Sidi Ali Cherif
,
P. Grosgeorges
,
A. Toffoli
,
S. Maîtrejean
,
M. Cassé
,
F. Martin
,
D. Lafond
,
O. Faynot
,
M. Mouis
(1)
,
S. Deleonibus
J. Widiez
- Fonction : Auteur
M. Vinet
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- PersonId : 756257
- ORCID : 0000-0001-6757-295X
B. Guillaumot
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X. Garros
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S. Minoret
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T. Poiroux
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O. Weber
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L. Thévenod
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P. Holliger
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B. Previtali
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Vincent Barral
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K. Sidi Ali Cherif
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P. Grosgeorges
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A. Toffoli
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S. Maîtrejean
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M. Cassé
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- ORCID : 0000-0002-4934-2445
F. Martin
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D. Lafond
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O. Faynot
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M. Mouis
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- IdHAL : mireille-mouis
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S. Deleonibus
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