Physics-based diffusion simulations for preamorphized ultrashallow junctions - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Physics-based diffusion simulations for preamorphized ultrashallow junctions

N.E.B. Cowern
  • Fonction : Auteur
B. Colombeau
  • Fonction : Auteur
E. Lampin
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Fuccio Cristiano
CV
Alain Claverie
Y. Lamrani
  • Fonction : Auteur
R. Duffy
  • Fonction : Auteur
V. Venezia
  • Fonction : Auteur
A. Heringa
  • Fonction : Auteur
Chen Wang
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 829307
C. Zechner
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00146407

Soumis le : mardi 15 mai 2007-08:30:37

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00146407 , version 1 (15-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00146407 , version 1

Citer

N.E.B. Cowern, B. Colombeau, E. Lampin, Fuccio Cristiano, Alain Claverie, et al.. Physics-based diffusion simulations for preamorphized ultrashallow junctions. 2003, pp.D6.8. ⟨hal-00146407⟩

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