Physics-based diffusion simulations for preamorphized ultrashallow junctions
N.E.B. Cowern
,
B. Colombeau
,
E. Lampin
(1)
,
Fuccio Cristiano
,
Alain Claverie
,
Y. Lamrani
,
R. Duffy
,
V. Venezia
,
A. Heringa
,
Chen Wang
,
C. Zechner
N.E.B. Cowern
- Fonction : Auteur
B. Colombeau
- Fonction : Auteur
Fuccio Cristiano
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3566
- IdHAL : fuccio-cristiano
- ORCID : 0000-0003-1839-9972
- IdRef : 078025923
Alain Claverie
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173241
- IdHAL : alain-claverie
- ORCID : 0000-0003-2211-4618
- IdRef : 060160756
Y. Lamrani
- Fonction : Auteur
R. Duffy
- Fonction : Auteur
V. Venezia
- Fonction : Auteur
A. Heringa
- Fonction : Auteur
Chen Wang
- Fonction : Auteur
- PersonId : 829307
C. Zechner
- Fonction : Auteur