Electrical property improvements of yttrium oxide-based metal-insulator-metal capacitors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology A Année : 2006

Electrical property improvements of yttrium oxide-based metal-insulator-metal capacitors

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00134932 , version 1 (05-03-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00134932 , version 1

Citer

C. Durand, Corentin Vallée, C. Dubourdieu, Myrtil L. Kahn, M. Derivaz, et al.. Electrical property improvements of yttrium oxide-based metal-insulator-metal capacitors. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2006, 24(3), pp.459. ⟨hal-00134932⟩
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