Influence of orientation, thickness and Nb doping on the structural, microstructural and electrical properties of PZT thin films - Archive ouverte HAL
Chapitre D'ouvrage Année : 2003

Influence of orientation, thickness and Nb doping on the structural, microstructural and electrical properties of PZT thin films

Eric Cattan
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Denis Remiens
T. Haccart
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00132002

Soumis le : mardi 20 février 2007-08:11:44

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00132002 , version 1 (20-02-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00132002 , version 1

Citer

Eric Cattan, Denis Remiens, T. Haccart. Influence of orientation, thickness and Nb doping on the structural, microstructural and electrical properties of PZT thin films. REMIENS D. Recent research developments in piezoelectric materials for macro/micro systems, Research Signpost, Kerala, India, pp.129-158, 2003. ⟨hal-00132002⟩

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