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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

L'acoustique picoseconde : un outil de métrologie mécanique de couches minces appliqué à la microéléctronique

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00126497 , version 1 (25-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00126497 , version 1

Citer

P. Emery, Arnaud Devos. L'acoustique picoseconde : un outil de métrologie mécanique de couches minces appliqué à la microéléctronique. 10èmes Journées de la Matière Condensée, JMC10, 2006, Toulouse, France. ⟨hal-00126497⟩
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