Reliability of non-released microstructures : failure analysis and innovative solution process - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Reliability of non-released microstructures : failure analysis and innovative solution process

O. Millet
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 883145
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
P. Muller
  • Fonction : Auteur
O. Blanrue
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00125662

Soumis le : lundi 22 janvier 2007-11:31:08

Dernière modification le : vendredi 22 novembre 2024-16:46:27

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00125662 , version 1 (22-01-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00125662 , version 1

Citer

O. Millet, P. Muller, O. Blanrue, Bernard Legrand, D. Collard, et al.. Reliability of non-released microstructures : failure analysis and innovative solution process. 2005, pp.840-842. ⟨hal-00125662⟩

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