Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
Valérie Fauvez : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00104515
Soumis le : vendredi 6 octobre 2006-16:44:12
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00104515 , version 1
Citer
C. Gorecki, M. Jozwik, A. Sabac. Optical interferometry investigation of internal stress and opto–mechanical characteristics of silicon oxynitride thin films fabricated by PECVD. May 2002, pp.TOME 4755. ⟨hal-00104515⟩
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