Evaluation of the mechanical properties of square membranes prestressed by PECVD silicone oxynitride thin films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2004
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00094984 , version 1 (15-09-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00094984 , version 1

Citer

M. Jozwik, C. Gorecki, P. Delobelle, A. Sabac, M. Kujawinska. Evaluation of the mechanical properties of square membranes prestressed by PECVD silicone oxynitride thin films. 2004, pp. 326-331. ⟨hal-00094984⟩
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