Silicon oxynitride waveguides developed for opto–mechanical sensing functions - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00094547 , version 1 (14-09-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00094547 , version 1

Citer

A. Sabac, M. Jozwik, L. Nieradko, C. Gorecki. Silicon oxynitride waveguides developed for opto–mechanical sensing functions. 2003, pp. 214-218. ⟨hal-00094547⟩
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