Communication Dans Un Congrès
Année : 2003
Aline Chagrot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00094446
Soumis le : jeudi 14 septembre 2006-15:23:28
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00094446 , version 1
Citer
M. Jozwik, P. Delobelle, A. Sabac, C. Gorecki. Interferometry system for the mechanical characterization of membranes with silicon oxynitride thin films fabricated by PECVD. 2003, pp. 79-84. ⟨hal-00094446⟩
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