Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
Christine Froidevaux : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00092692
Soumis le : mardi 12 septembre 2006-09:07:13
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00092692 , version 1
Citer
M. Jozwik, Patrick Delobelle, A. Sabac, Christophe Gorecki. Interferometry system for the mechanical characterization of membranes with silicon oxynitride thin films fabricated by PECVD. SPIE 2002, 2002, Brugge, Belgique. ⟨hal-00092692⟩
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