Article Dans Une Revue
Solid State Phenomena
Année : 2003
France Le Bihan : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00085667
Soumis le : jeudi 13 juillet 2006-12:00:46
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:47
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00085667 , version 1
Citer
H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, F. Bendriaa, France Le Bihan, et al.. Silicon films deposited by Low-Pressure Chemical Vapour Deposition for microsystems. Solid State Phenomena, 2003, 93, pp.453-458. ⟨hal-00085667⟩
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