Propriétés structurales de couches de SiO<sub>2</sub> implantées germanium et application aux mémoires à nanocristaux - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Propriétés structurales de couches de SiO2 implantées germanium et application aux mémoires à nanocristaux

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00081227 , version 1 (22-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00081227 , version 1

Citer

S. Duguay. Propriétés structurales de couches de SiO2 implantées germanium et application aux mémoires à nanocristaux. IXèmes Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique (JNRDM'2006), 2006, Rennes, France. ⟨hal-00081227⟩

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