Affiche : "Characterization of PECVD thin films by ellipsometric porosimetry" - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Affiche : "Characterization of PECVD thin films by ellipsometric porosimetry"

V. Rouessac
R. Coustel
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00080032 , version 1 (14-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00080032 , version 1

Citer

V. Rouessac, R. Coustel, J. Durand. Affiche : "Characterization of PECVD thin films by ellipsometric porosimetry". GDR "TEMPS", 2005, Nantes, France. ⟨hal-00080032⟩
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