Affiche : "Characterization of PECVD thin films by ellipsometric porosimetry" - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Affiche : "Characterization of PECVD thin films by ellipsometric porosimetry"

V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
R. Coustel
CV
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Institut Européen des membranes

Nathalie Bonneval  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00080032

Soumis le : mercredi 14 juin 2006-14:27:44

Dernière modification le : lundi 17 juin 2024-09:09:41

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00080032 , version 1 (14-06-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00080032 , version 1

Citer

V. Rouessac, R. Coustel, J. Durand. Affiche : "Characterization of PECVD thin films by ellipsometric porosimetry". GDR "TEMPS", 2005, Nantes, France. ⟨hal-00080032⟩

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