Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMS applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2004
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00020029 , version 1 (03-03-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00020029 , version 1

Citer

Patrick Delobelle, Olivier Guillon, E. Fribourg-Blanc, Caroline Soyer, Denis Remiens, et al.. Determination by indentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMS applications. 2004. ⟨hal-00020029⟩
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