<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?>
<TEI xmlns="http://www.tei-c.org/ns/1.0" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:hal="http://hal.archives-ouvertes.fr/" xmlns:gml="http://www.opengis.net/gml/3.3/" xmlns:gmlce="http://www.opengis.net/gml/3.3/ce" version="1.1" xsi:schemaLocation="http://www.tei-c.org/ns/1.0 http://api.archives-ouvertes.fr/documents/aofr-sword.xsd">
  <teiHeader>
    <fileDesc>
      <titleStmt>
        <title>HAL TEI export of tel-03350518</title>
      </titleStmt>
      <publicationStmt>
        <distributor>CCSD</distributor>
        <availability status="restricted">
          <licence target="https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/">CC0 1.0 - Universal</licence>
        </availability>
        <date when="2026-05-20T04:23:58+02:00"/>
      </publicationStmt>
      <sourceDesc>
        <p part="N">HAL API Platform</p>
      </sourceDesc>
    </fileDesc>
  </teiHeader>
  <text>
    <body>
      <listBibl>
        <biblFull>
          <titleStmt>
            <title xml:lang="en">MEMS-based High-Frequency(100-300MHz) Ultrasonic Linear Phased Arrays</title>
            <title xml:lang="fr">Réseaux de transducteurs haute fréquence (100-300 MHz) à déphasage réalisés à partir des technologies MEMS</title>
            <author role="aut">
              <persName>
                <forename type="first">Jin-Ying</forename>
                <surname>Zhang</surname>
              </persName>
              <idno type="halauthorid">1272601-0</idno>
              <affiliation ref="#struct-244746"/>
            </author>
            <editor role="depositor">
              <persName>
                <forename>Julie</forename>
                <surname>Cagniard</surname>
              </persName>
              <email type="md5">1dce28e8d881110b28c59f67e22e9de1</email>
              <email type="domain">uphf.fr</email>
            </editor>
          </titleStmt>
          <editionStmt>
            <edition n="v1" type="current">
              <date type="whenSubmitted">2021-09-21 13:41:05</date>
              <date type="whenModified">2024-01-24 09:54:22</date>
              <date type="whenReleased">2021-09-21 14:28:40</date>
              <date type="whenProduced">2011-10-10</date>
              <date type="whenEndEmbargoed">2021-09-21</date>
              <ref type="file" target="https://hal.science/tel-03350518v1/document">
                <date notBefore="2021-09-21"/>
              </ref>
              <ref type="file" subtype="author" n="1" target="https://hal.science/tel-03350518v1/file/2011VALE0024_ZHANG_JINYING.pdf" id="file-3350518-2938436">
                <date notBefore="2021-09-21"/>
              </ref>
            </edition>
            <respStmt>
              <resp>contributor</resp>
              <name key="537167">
                <persName>
                  <forename>Julie</forename>
                  <surname>Cagniard</surname>
                </persName>
                <email type="md5">1dce28e8d881110b28c59f67e22e9de1</email>
                <email type="domain">uphf.fr</email>
              </name>
            </respStmt>
          </editionStmt>
          <publicationStmt>
            <distributor>CCSD</distributor>
            <idno type="halId">tel-03350518</idno>
            <idno type="halUri">https://hal.science/tel-03350518</idno>
            <idno type="halBibtex">zhang:tel-03350518</idno>
            <idno type="halRefHtml">Engineering Sciences [physics]. Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, 2011. English. &lt;a target="_blank" href="https://www.theses.fr/2011VALE0024"&gt;&amp;#x27E8;NNT : 2011VALE0024&amp;#x27E9;&lt;/a&gt;</idno>
            <idno type="halRef">Engineering Sciences [physics]. Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, 2011. English. &amp;#x27E8;NNT : 2011VALE0024&amp;#x27E9;</idno>
            <availability status="restricted">
              <licence target="https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/">HAL Authorization<ref corresp="#file-3350518-2938436"/></licence>
            </availability>
          </publicationStmt>
          <seriesStmt>
            <idno type="stamp" n="CNRS">CNRS - Centre national de la recherche scientifique</idno>
            <idno type="stamp" n="UNIV-VALENCIENNES">Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis</idno>
            <idno type="stamp" n="IEMN">Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie</idno>
            <idno type="stamp" n="UNIV-LILLE">Université de Lille</idno>
            <idno type="stamp" n="THESES-UPHF" corresp="UNIV-VALENCIENNES">Thèses de doctorat de l'Université Polytechnique Hauts-de-France</idno>
          </seriesStmt>
          <notesStmt/>
          <sourceDesc>
            <biblStruct>
              <analytic>
                <title xml:lang="en">MEMS-based High-Frequency(100-300MHz) Ultrasonic Linear Phased Arrays</title>
                <title xml:lang="fr">Réseaux de transducteurs haute fréquence (100-300 MHz) à déphasage réalisés à partir des technologies MEMS</title>
                <author role="aut">
                  <persName>
                    <forename type="first">Jin-Ying</forename>
                    <surname>Zhang</surname>
                  </persName>
                  <idno type="halauthorid">1272601-0</idno>
                  <affiliation ref="#struct-244746"/>
                </author>
              </analytic>
              <monogr>
                <idno type="nnt">2011VALE0024</idno>
                <imprint>
                  <date type="dateDefended">2011-10-10</date>
                </imprint>
                <authority type="institution">Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis</authority>
                <authority type="supervisor">Bertrand Nongaillard</authority>
                <authority type="supervisor">Yiping Huang</authority>
                <authority type="jury">Gilles DESPAUX</authority>
                <authority type="jury">Sylvain BALLANDRAS</authority>
                <authority type="jury">Wei-Jiang XU</authority>
                <authority type="jury">Julien CARLIER</authority>
                <authority type="jury">Xinming Ji</authority>
              </monogr>
            </biblStruct>
          </sourceDesc>
          <profileDesc>
            <langUsage>
              <language ident="en">English</language>
            </langUsage>
            <textClass>
              <keywords scheme="author">
                <term xml:lang="en">Ultrasonic transducers</term>
                <term xml:lang="en">Piezoelectric transducers</term>
                <term xml:lang="en">Microelectromeanic systems</term>
                <term xml:lang="fr">Transducteurs ultrasonores</term>
                <term xml:lang="fr">Transducteurs piézoélectriques</term>
                <term xml:lang="fr">Systèmes microélectromécaniques</term>
              </keywords>
              <classCode scheme="halDomain" n="spi">Engineering Sciences [physics]</classCode>
              <classCode scheme="halTypology" n="THESE">Theses</classCode>
              <classCode scheme="halOldTypology" n="THESE">Theses</classCode>
              <classCode scheme="halTreeTypology" n="THESE">Theses</classCode>
            </textClass>
            <abstract xml:lang="en">
              <p>High-frequency ultrasonic phased array transducer is a desired candidate in real-time and high resolution imaging. Many difficulties will arise in the development of array imaging systems with an operating frequency of above 100 MHz : high-frequency phase-delay system, electrical matching problem, mechanical matching problem, and fabrication of high-frequency array transducers which play a critical role in ultrasonic phased array imaging systems. This dissertation focuses on mainly two aspects : the finite element numerical simulations in the optimized design and the fabrication using micro electromechanical system (MEMS) technologies. In the section of numerical studies, a commercial finite element tool, COMSOL3.5a, is employed. In piezoelectric backing array transducers, the effects of pitch size, kerf filler and kerf depth on the acoustic field, electrical impedance and crosstalk are investigated. Systematic simulations are carried out for a designed buffered transducer array. In the section of experimental fabrication and characterization, MEMS based technologies are applied to obtain high-frequency array elements. Single crystal LiNbO3arrays are made using ICP RIE technique. Two kinds of ZnO arrays are kerfed using wet chemical etching technique and micromachining silicon substrate, respectively. All of these arrays are characterized by Network Analyzer. The measured electrical impedance and crosstalk are consistent with the theoretical predictions.</p>
            </abstract>
            <abstract xml:lang="fr">
              <p>Les réseaux de transducteurs ultrasonores haute fréquence à déphasage sont des candidats intéressants pour l’imagerie haute résolution en temps réel. De nombreuses difficultés interviennent lors du développement de réseaux avec une fréquence d’émission supérieure à 100 MHz : déphasage en haute fréquence, adaptation électrique, adaptation mécanique et fabrication des réseaux de transducteurs haute fréquence qui joue un rôle critique pour le développement de ces systèmes. Cette thèse porte notamment sur deux aspects spécifiques : la modélisation numérique par élément fini et la fabrication basée sur les les microtechnologies et les MEMS. Dans la partie consacrée aux simulations numériques, un modèle commercial basé sur les éléments finis, COMSOL 3.5a, est utilisé. Pour les réseaux de transducteurs piézoélectriques sur absorbeur en face arrière, l’influence du pas spatial, de la profondeur de séparation des transducteurs, de l’isolation mécanique de ces transducteurs sur le champ acoustique ont été étudiés ainsi que l’impédance électrique et le couplage. Ces simulations ont également été réalisées pour des réseaux de transducteur sur ligne à retard de propagation. Dans la partie consacrée aux réalisations expérimentales et à leur caractérisation, des réseaux ont été obtenus à partir de monocristaux de LiNbO3 gravés par les technologies plasma et de ZnO déposé en couche mince. Ces réseaux de transducteur ont ensuite été caractérisés à l’analyseur de réseaux et les mesures électriques des impédances et des couplages ont permis de montrer la cohérence avec les prédictions théoriques.</p>
            </abstract>
          </profileDesc>
        </biblFull>
      </listBibl>
    </body>
    <back>
      <listOrg type="structures">
        <org type="department" xml:id="struct-244746" status="OLD">
          <orgName>Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520</orgName>
          <orgName type="acronym">IEMN-DOAE</orgName>
          <date type="end">2020-12-31</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Campus Mont Houy - 59313 Valenciennes Cedex 9</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.uphf.fr/DOAE/</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation active="#struct-1296" type="direct"/>
            <relation active="#struct-120930" type="indirect"/>
            <relation active="#struct-300066" type="indirect"/>
            <relation active="#struct-300279" type="indirect"/>
            <relation active="#struct-374570" type="indirect"/>
            <relation name="UMR8520" active="#struct-441569" type="indirect"/>
            <relation active="#struct-1001263" type="indirect"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="laboratory" xml:id="struct-1296" status="OLD">
          <idno type="IdRef">138736421</idno>
          <idno type="ISNI">0000 0004 0368 3863</idno>
          <idno type="RNSR">199812849E</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02q4res37</idno>
          <orgName>Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520</orgName>
          <orgName type="acronym">IEMN</orgName>
          <date type="start">1992-01-01</date>
          <date type="end">2020-12-31</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>[Univ. Lille, CNRS, Ecole Centrale Lille, Yncréa-ISEN, UVHC] –– Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D’ASCQ CEDEX</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.iemn.fr/</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation active="#struct-120930" type="direct"/>
            <relation active="#struct-300066" type="direct"/>
            <relation active="#struct-300279" type="direct"/>
            <relation active="#struct-374570" type="direct"/>
            <relation name="UMR8520" active="#struct-441569" type="direct"/>
            <relation active="#struct-1001263" type="direct"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-120930" status="VALID">
          <idno type="IdRef">256304629</idno>
          <idno type="ISNI">0000000122034461</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/01x441g73</idno>
          <orgName>Centrale Lille</orgName>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>École Centrale de Lille - Cité Scientifique - CS 20048 59651 Villeneuve d'Ascq Cedex</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">https://centralelille.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-300066" status="VALID">
          <orgName>Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)</orgName>
          <desc>
            <address>
              <country key="FR"/>
            </address>
          </desc>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-300279" status="OLD">
          <idno type="IdRef">026404079</idno>
          <idno type="ISNI">0000000107901416</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02ezch769</idno>
          <orgName>Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis</orgName>
          <orgName type="acronym">UVHC</orgName>
          <date type="start">1979-01-01</date>
          <date type="end">2019-09-08</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Campus Mont Houy59313 Valenciennes Cedex 9</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.uphf.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-374570" status="VALID">
          <idno type="IdRef">223446556</idno>
          <idno type="ISNI">0000 0001 2242 6780</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02kzqn938</idno>
          <idno type="Wikidata">Q3551621</idno>
          <orgName>Université de Lille</orgName>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>EPE Université de Lille. -- 42 rue Paul Duez, 59000 Lille</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">https://www.univ-lille.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-441569" status="VALID">
          <idno type="IdRef">02636817X</idno>
          <idno type="ISNI">0000000122597504</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02feahw73</idno>
          <orgName>Centre National de la Recherche Scientifique</orgName>
          <orgName type="acronym">CNRS</orgName>
          <date type="start">1939-10-19</date>
          <desc>
            <address>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">https://www.cnrs.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-1001263" status="VALID">
          <idno type="IdRef">242335675</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02ezch769</idno>
          <orgName>Université Polytechnique Hauts-de-France</orgName>
          <orgName type="acronym">UPHF</orgName>
          <date type="start">2019-09-09</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Campus Mont Houy59313 Valenciennes Cedex 9</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.uphf.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
      </listOrg>
    </back>
  </text>
</TEI>