@phdthesis{voisin:tel-00180907, TITLE = {{Lithographie de nouvelle g{\'e}n{\'e}ration par nanoimpression assist{\'e}e par UV: {\'e}tude et d{\'e}veloppement de mat{\'e}riaux et proc{\'e}d{\'e}s pour l'application micro{\'e}lectronique}}, AUTHOR = {Voisin, Pauline}, URL = {https://theses.hal.science/tel-00180907}, SCHOOL = {{Universit{\'e} Joseph-Fourier - Grenoble I}}, YEAR = {2007}, MONTH = Nov, KEYWORDS = {Lithography ; nanoimprint ; plasma etching ; monomers ; residual layer thickness ; Lithographie ; nanoimpression ; UV-NIL ; gravure plasma ; monom{\`e}re ; {\'e}paisseur r{\'e}siduelle}, TYPE = {Theses}, PDF = {https://theses.hal.science/tel-00180907/file/These-Pauline-Voisin-version-definitive.pdf}, HAL_ID = {tel-00180907}, HAL_VERSION = {v1}, }