Etude des contraintes résiduelles dans les multicouches Au/Ni
Résumé
Les matériaux multicouches font aujourd'hui l'objet d'études très complètes de caractérisation physico-chimique pour améliorer leur performance. L'étude des contraintes résiduelles générées lors de leur élaboration constitue un enjeu important dans la compréhension de leurs propriétés mais aussi dans celle des interfaces métal/métal. Cette étude a été entreprise sur une multicouche or/nickel obtenue par dépôt assisté par jet moléculaire. Les contraintes résiduelles ont été déterminées par diWm des rayons X en utilisant une analyse triaxiale des contraintes par la méthode dite des «sin2Ψ».
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Origine : Accord explicite pour ce dépôt
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