Dérives thermiques du capteur de pression capacitif microélectronique
Résumé
Les dérives thermiques du capteur de pression capacitif microélectronique sont analysées par la méthode des éléments finis. Différentes conditions aux limites représentant une large gamme de support de capteur ont été envisagées : capteur à base libre, capteur à base fixe et capteur collé à un support d'alumine. Dans chaque cas, la réponse thermique du capteur a été déterminée en fonction des dimensions du capteur afin de repousser la température de flambage et réduire en conséquence la sensibilité thermique. Pour certains capteurs très sensibles à la pression, cette température est très faible et les dérives thermiques sont importantes. Ainsi un capteur à base fixe (membrane de rayon 1000 μm, et épaisseur 12 μm, distance entre armatures 3,5 μm) présente une sensibilité thermique de -200 Pa °C-1 au-dessus de $80~^\circ$C. Un capteur collé à un support d'alumine, de membrane plus large (rayon 1800 μm) possède une sensibilité thermique de 3,1 Pa °C-1 au-dessous de $-100~^\circ$C.
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